Termék áttekintése
A 7N ammónia egy elektronikus -minőségű speciális gáz, amelynek tisztasága 99,99999%. Elsősorban nitrogénből és hidrogénből szintetizálják magas hőmérsékleten és nyomáson, majd többlépcsős desztillációs, adszorpciós és tisztítási folyamatok következnek. A félvezetők, az összetett félvezetők és a fejlett kijelzőgyártás során kritikus jelentőségű gázként rendkívül-nagy tisztasága elengedhetetlen a vékony-film minőségének, az eszköz teljesítményének és a termelési hozamnak a biztosításához. Még a nyomokban előforduló szennyeződések is-, mint például a nedvesség, az oxigén, a szénhidrogének és a fémionok,{10}}az eszköz meghibásodásához vezethetnek, így a 7N ammónia nélkülözhetetlen maganyag a csúcsminőségű{12}}gyártásban.
Alapvető információk
| CAS-szám | 7664-41-7 |
| ENSZ sz. | UN1005 (Ammónia, vízmentes, sűrített gáz) |
| Veszélyességi osztályozás | Osztály 2.3 Mérgező gáz, 8. osztály Maró hatású anyag |
Kulcs attribútumok és paraméterek
| Tisztaság | 99,99999% vagy nagyobb (7N fokozat) |
| Főbb szennyeződési szintek (tipikus értékek, ppb-ben) |
Nedvesség (H₂O): 10 ppb vagy kevesebb Oxigén (O2): 5 ppb vagy kevesebb Összes szénhidrogén (THC): legfeljebb 5 ppb Fémionok (Fe, Ni, Cu, Na, K stb.): 0,01 ppb vagy annál kisebb |
| Csomagolás | Hengerek, Y-hengerek, ISO csöves pótkocsik (testreszabható az ügyfél igényei szerint) |
| Töltési nyomás | Általában 20-50 bar (tartálytól függően) |
Jellemzők és előnyök
Ultra-Nagy tisztaság és konzisztencia
Több-lépcsős tisztítási technológiát és online elemzést használ annak biztosítására, hogy a 7N ammónia minden tétele megfeleljen a legszigorúbb félvezető-eljárási követelményeknek, egyenletes tisztasági és szennyeződési szint mellett.
Rendkívül alacsony részecske- és fémszennyeződés
A 0,003 μm-ig terjedő végszűrés biztosítja a minimális részecske- és fémion-tartalmat, megakadályozva az érzékeny forgácsszerkezetek szennyeződését.
Stabil ellátási lánc és teljes nyomon követhetőség
Zárt{0}}hurkú vezérlést valósít meg a gázforrástól, a tisztításon és a töltésen át az analitikai tesztelésig, teljes és nyomon követhető minőség-ellenőrzési jelentéseket (CoA) biztosítva az ellátási lánc biztonsága érdekében.
Professzionális műszaki és biztonsági támogatás
Átfogó megoldásokat kínál, beleértve a gázhasználati útmutatást, a csővezeték-tervezést és a biztonsági képzést annak érdekében, hogy az ügyfelek biztonságosan és hatékonyan hasznosíthassák a 7N nagy-tisztaságú ammóniagázt.
Funkcionális jellemzők
Nitrogénforrásként
Az epitaxiális folyamatokban, mint például a fém-szerves kémiai gőzleválasztás (MOCVD), a 7N nagy-tisztaságú ammóniagáz a legfontosabb nitrogén-prekurzor a III-V összetett félvezetők, például a gallium-nitrid (GaN) és az alumínium-nitrid (AlN) termesztésében.
Reaktív gázként
A félvezető-maratás és a szilícium-nitrid (Si₃N₄) vékony-film-leválasztás során nagy-tisztaságú jellemzői biztosítják a film egyenletességét, alacsony hibasűrűségét és kiváló elektromos tulajdonságokat.
Hordozóként vagy doppinggázként
Speciális eljárásokban alkalmazható szállításra vagy doppingolásra, ahol tisztasága közvetlenül befolyásolja az eszköz küszöbfeszültségét, mobilitását és megbízhatóságát.
Elsődleges alkalmazási mezők
Félvezető gyártás
Szilícium-nitrid/titán-nitrid leválasztására és III-V összetett félvezetők (pl. GaN, GaAs) epitaxiális növekedésére használják.
Kijelző technológia
Nagy-tisztaságú nitrogénforrásként szolgál vékony-filmes tokozásban és TFT hátlap gyártásban OLED és Micro-LED kijelzőkhöz.
Fotovoltaik
Nagy hatékonyságú napelemek (pl. HJT, TOPCon) -passzivációs réteges leválasztásánál alkalmazzák.
Kutatás és haladó anyagok
Új nitrid anyagok fejlesztése, kvantumpont szintézis és nagy tisztaságú nitridek előállítása-.
Ügyfél-együttműködési eset
Hosszú távú{0}}stratégiai partnerséget építettünk ki a világ-vezető harmadik{{2}generációs félvezetőgyártójával. Az ügyfél a GaN-on-Si tápegység tömeggyártó sorához közeli-határértéket követelt a nedvességre és fémszennyeződésekre vonatkozóan 7N nagy-tisztaságú ammóniagázban (nedvesség 5 ppb vagy egyenlő, fémionok legfeljebb 0,005 ppb). Személyre szabottunk számukra egy dedikált tisztítási modult és online felügyeleti rendszert, és egy dedikált csővezetéken keresztül megszakítás nélküli, szennyeződésmentes-használati ponton-megvalósítottunk. Az együttműködés során a szállított 7N nagy tisztaságú ammóniagáz segített az ügyfélnek 30%-kal csökkenteni az epitaxiális lapka hibasűrűségét, jelentősen javítva az eszközök teljesítményét és megbízhatóságát, megszilárdítva ezzel vezető pozíciójukat a nagyfeszültségű félvezetők piacán. Ez az eset jól példázza, hogy képesek vagyunk integrált ultra-nagy-tisztaságú gázmegoldások biztosítására.
GYIK
Népszerű tags: 7n ammónia, Kína 7n ammónia gyártók, beszállítók, gyár, 7N ammónia, palackozott gáz, Folyékony argongáz, Nitrogén-dioxid CAS 10102 44 0, Kén-dioxid CAS 7446 09 5, Vinil-klorid CAS 75 01 4
